理事單位
近日，我會理事單位杭州慧翔電液技術開發有限公司半導體級直拉單晶超導磁場研發取得新突破——12英寸干式橫向超導磁場首次突破5000Gs，這標志著慧翔電液成為國內首家能穩定量產5000Gs的MCZ超導磁體企業。
12英寸無液氦橫向磁場
杭州慧翔電液自2016年起便專注于磁性流體密封技術、半導體單晶爐用超導磁體系統、尾氣處理裝置等研發銷售，技術和規模行業領先，是國家級專精特新“小巨人”企業。此次慧翔電液12英寸干式橫向超導磁場突破5000Gs，打破了國內穩定量產中心磁場5000Gs的MCZ超導磁體企業為零的局面，奠定行業領先地位。
當前，國際上MCZ超導磁體制造企業以3000Gs-4500Gs為常規產品，實現更強磁場是行業重要突破方向。而在直徑1600mm以上室溫空間，產生高達5000Gs磁場，需要克服強大的電磁力并滿足無液氦的運行條件，對超導磁體設計、制造工藝等諸多方面都是巨大挑戰。本次慧翔電液自主研發的半導體級干式超導磁體中心磁場突破5000Gs，是多年來的技術沉淀與不懈創新的重大成果，意味著慧翔電液已具備與國際技術同步的超導磁體定制研發能力。
一直以來，慧翔電液始終聚力攻堅行業“卡脖子”技術難點，本次“5000Gs”的超導磁體到來，將極大地改善設備拉晶效果，為高端半導體拉晶工藝奠定基礎，滿足半導體行業直拉硅單晶工藝的差異化需求，助力客戶創造更大效益。
未來，慧翔電液將繼續秉承“先進材料、先進裝備”的發展戰略，搶占關鍵技術制高點，服務國家戰略安全，敢為人先，敢于突破，展現國產制造企業的責任擔當，為促進我國半導體產業高質量發展貢獻更大力量。
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